发明名称
摘要
申请公布号 JPH032948(B2) 申请公布日期 1991.01.17
申请号 JP19830132021 申请日期 1983.07.21
申请人 LEYBOLD AG 发明人 ARUBERUTO FUOIAASHUTAIN;KURAUSUUYURUGEN HAIMUBATSUHA;HERUMUUTO UARUSHAITO
分类号 C23C14/24;B01D1/00;C23C14/30;H01J37/305 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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