发明名称 PROCESSING METHOD FOR GARNET FILM CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH038329(A) 申请公布日期 1991.01.16
申请号 JP19890143231 申请日期 1989.06.06
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUDERA HISAO;KOUSEI MASAHITO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址