| 发明名称 |
FILM CARRIER AND MOLDING METHOD USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH038353(A) |
申请公布日期 |
1991.01.16 |
| 申请号 |
JP19890144618 |
申请日期 |
1989.06.06 |
| 申请人 |
TOOWA KK |
发明人 |
OSADA MICHIO;SHIMIZU TOMOHITO;HIGASHIURA TATSUKI |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L21/60;H01L23/28 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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