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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS OF TREATING PHOTORESISTS
摘要
申请公布号
EP0283667(B1)
申请公布日期
1991.01.16
申请号
EP19880101172
申请日期
1988.01.27
申请人
USHIO DENKI
发明人
SUZUKI, SHINJI C/O USHIO DENKI;ARAI, TETSUJI C/O USHIO DENKI;UEKI, KAZUYOSHI C/O USHIO DENKI;MIMURA, YOSHIKI C/O USHIO DENKI;SUZUKI, HIROKO C/O USHIO DENKI
分类号
G03F7/40;B01J19/12;G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/40
代理机构
代理人
主权项
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