发明名称 |
APPARATUS FOR VAPORIZING AND SUPPLYING LIQUID MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH038330(A) |
申请公布日期 |
1991.01.16 |
申请号 |
JP19890143777 |
申请日期 |
1989.06.06 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
OYAMA KATSUMI |
分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/14 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|