| 发明名称 |
DEVICE FOR AUTOMATICALLY DETERMINING THE DEVIATION BETWEEN THE STRUCTURES OF A PATTERN AND THOSE OF AN OBJECT COMPARED THEREWITH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0221916(B1) |
申请公布日期 |
1991.01.16 |
| 申请号 |
EP19860902326 |
申请日期 |
1986.04.10 |
| 申请人 |
WILD LEITZ GMBH |
发明人 |
SCHUSTER, ERICH;KARTZOW, MANFRED |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F7/20;G03F9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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