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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0346131(A3) 申请公布日期 1991.01.16
申请号 EP19890305828 申请日期 1989.06.09
申请人 ANELVA CORPORATION 发明人 TSUKADA, TSUTOMU C/O ANELVA CORPORATION;TAMAKI, TOSHIO C/O ANELVA CORPORATION;YOSHIDA, TATSUHIKO C/O ANELVA CORPORATION
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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