发明名称 ELECTRON BEAM MACHINING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH038251(A) 申请公布日期 1991.01.16
申请号 JP19890141541 申请日期 1989.06.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MARUYAMA TOSHIRO
分类号 H01J37/04;H01J37/09;H01J37/305 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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