发明名称 Luminescence exposure apparatus
摘要
申请公布号 US4985631(A) 申请公布日期 1991.01.15
申请号 US19890308718 申请日期 1989.02.13
申请人 WANNLUND, JON C.;SMITH, JERRY W. 发明人 WANNLUND, JON C.;SMITH, JERRY W.
分类号 B01L3/00;C12M1/20;G01N21/03;G01N21/76 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
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