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发明名称 BATH FOR CHROME SILICIDE LAYERS ETCHING FOR SOLID-PHASE INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 CS272371(B1) 申请公布日期 1991.01.15
申请号 CS19880001729 申请日期 1988.03.17
申请人 HOLOUBEK JIRI ING.,CS;BOK KAREL ING.,CS;VALICEK JAROMIR ING.,CS 发明人 HOLOUBEK JIRI ING.,CS;BOK KAREL ING.,CS;VALICEK JAROMIR ING.,CS
分类号 C23F1/24;C23F1/44;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/44 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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