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发明名称
Inspection apparatus incorporating digital electron detection
摘要
申请公布号
US4985628(A)
申请公布日期
1991.01.15
申请号
US19880277572
申请日期
1988.11.29
申请人
U.S. PHILIPS CORPORATION
发明人
HORSTMAN, ROBERT E.
分类号
G01N23/225;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/244;H01J37/28
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
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