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发明名称 Dry etching by alternately etching and depositing
摘要
申请公布号 US4985114(A) 申请公布日期 1991.01.15
申请号 US19890418223 申请日期 1989.10.06
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 OKUDAIRA, SADAYUKI;KAWAKAMI, HIROSHI;KURE, TOKUO;TSUJIMOTO, KAZUNORI;TACHI, SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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