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经营范围
发明名称
PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH036813(A)
申请公布日期
1991.01.14
申请号
JP19890142487
申请日期
1989.06.05
申请人
SUMITOMO METAL IND LTD
发明人
OKAZAKI YOSHINORI;MIYAHARA SHUNJI
分类号
H05H1/46;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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