发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH036844(A) 申请公布日期 1991.01.14
申请号 JP19890142533 申请日期 1989.06.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MATSUO ICHIRO
分类号 H01L21/76;H01L27/08 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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