发明名称 SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH036015(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890140654 申请日期 1989.06.02
申请人 RICOH CO LTD 发明人 INO MASUMITSU
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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