发明名称 SLIDING APPARATUS OF IC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH036472(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890141048 申请日期 1989.06.05
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 MURAKAMI KUNIHIKO;KUWABARA ICHIRO
分类号 G01R31/26;B65G11/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址