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发明名称 INSPECTING APPARATUS BY FLUORESCENCE
摘要
申请公布号 JPH036444(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890140718 申请日期 1989.06.02
申请人 FUROOBELL:KK 发明人 HOSHI KOICHI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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