| 发明名称 |
FORMATION OF MULTILAYER INSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH036022(A) |
申请公布日期 |
1991.01.11 |
| 申请号 |
JP19890141451 |
申请日期 |
1989.06.02 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
NIWA HITOSHI;NAKANISHI AKISHIGE |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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