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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH036016(A) 申请公布日期 1991.01.11
申请号 JP19890141581 申请日期 1989.06.02
申请人 SHARP CORP 发明人 MAEKAWA SHINJI;KOBA MASAYOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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