发明名称
摘要
申请公布号 JPH03500064(A) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 JP19880506112 申请日期 1988.06.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/10;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址