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发明名称
摘要
申请公布号
JPH03500064(A)
申请公布日期
1991.01.10
申请号
JP19880506112
申请日期
1988.06.17
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/10;H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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