发明名称 FINE PROCESSING OF OXIDE SUPERCONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH034575(A) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 JP19890139779 申请日期 1989.06.01
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 IWASE MASAYUKI
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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