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发明名称 MOLECULAR BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 JPH034516(A) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 JP19890139982 申请日期 1989.06.01
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAZAKI SHINJI
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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