发明名称 METHOD OF FORMING FLAT INSULATING REGION INTO SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH034534(A) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 JP19900127045 申请日期 1990.05.18
申请人 MOTOROLA INC 发明人 PIITAA JIEI ZUIDEBERU;BAABARA BASUKESU;HAN MIN RAIAU;KURISUCHIYAN EE SUIIRUBATSUKU
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/74;H01L21/763 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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