发明名称 |
METHOD OF FORMING FLAT INSULATING REGION INTO SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH034534(A) |
申请公布日期 |
1991.01.10 |
申请号 |
JP19900127045 |
申请日期 |
1990.05.18 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
PIITAA JIEI ZUIDEBERU;BAABARA BASUKESU;HAN MIN RAIAU;KURISUCHIYAN EE SUIIRUBATSUKU |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/74;H01L21/763 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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