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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DICKEN DIELEKTRIKUMS AUF DER BODENSEITE EINER GRUBE FUER INTEGRIERTE SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3675917(D1) 申请公布日期 1991.01.10
申请号 DE19863675917 申请日期 1986.07.09
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH CO., NEW YORK, N.Y., US 发明人 LYNCH, THOMAS, WILLIAM, SUMMIT, NJ 07901, US;SEIDEL, EDWARD, THOMAS, CARDIFF , CA 92007, US
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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