| 发明名称 |
BORON DIFFUSING AGENT AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH034523(A) |
申请公布日期 |
1991.01.10 |
| 申请号 |
JP19890139617 |
申请日期 |
1989.06.01 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
KAWADA ATSUO;KUBOTA YOSHIHIRO;HARADA KESAJI;ITO KENJI |
| 分类号 |
H01L21/225;C23C16/34;C23C16/38;H01L21/223 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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