PATTERNED THIN FILM AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME,申请号EP19880115635-传众专利搜索

发明名称	PATTERNED THIN FILM AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME
摘要
申请公布号	EP0308948(A3)	申请公布日期	1991.01.09
申请号	EP19880115635	申请日期	1988.09.23
申请人	KANEGAFUCHI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA	发明人	UEKITA, MASAKAZU;AWAJI, HIROSHI;MURATA, MAKOTO;MIZUNUMA, SATOSHI
分类号	B05D1/20;G01N27/414;H01L21/312;H01L29/51;H01L29/92;H01L39/02;H01L45/00;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;H01L51/50;(IPC1-7):H01L21/312;H01L29/62	主分类号	B05D1/20
代理机构		代理人
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