| 发明名称 |
ELECTRON DETECTION WITH ENERGY DISCRIMINATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0259907(B1) |
申请公布日期 |
1991.01.09 |
| 申请号 |
EP19870201510 |
申请日期 |
1987.08.07 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
KRUIT, PIETER |
| 分类号 |
G01N23/22;H01L21/66;G01Q30/02;G01Q30/06;G01Q90/00;G01R31/302;G01T1/28;H01J37/05;H01J37/244;H01J37/28 |
主分类号 |
G01N23/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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