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发明名称 METHOD OF FORMING WIRING
摘要
申请公布号 JPH033351(A) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 JP19890138083 申请日期 1989.05.31
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIBASHI AKIRA;FUNATO KENJI;MORI YOSHIFUMI
分类号 H01L21/768;H01L21/312;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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