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发明名称 SEMICONDUCTOR VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH033230(A) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 JP19890135774 申请日期 1989.05.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HOSHINO MASATAKA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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