发明名称 Method for measuring pressure.
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung des Druckes mit Hilfe eines Gasreibungsvakuummeters, das mit einem Oszillator und mit einem Schwingquarz als Sensor ausgerüstet ist und bei dem die druckabhängigen Dämpfungserscheinungen der Quarzschwingungen zur Meßwertbildung herangezogen werden; um bei diesem Verfahren genauere Meßwerte zu erzielen, wird vorgeschlagen, daß zur Meßwerterfassung der Oszillator (2) vom Schwingquarz (1) getrennt wird und daß aus dem Ausschwingverhalten des Quarzes der Druckwert gewonnen wird.</p>
申请公布号 EP0406460(A1) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 EP19890112159 申请日期 1989.07.04
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BENES, EWALD, DR.;MUELLER, WALTER;STUERMER, JOHANN;THORN, GERNOT
分类号 G01L21/22 主分类号 G01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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