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发明名称 RADIO FREQUENCY INDUCTION/MULTIPOLE PLASMA PROCESSING TOOL
摘要
申请公布号 EP0379828(A3) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 EP19890480185 申请日期 1989.12.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COULTAS, DENNIS KEITH;KELLER, JOHN HOWARD
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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