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发明名称 METAL ORGANIC VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH OF GROUP III-V COMPOUNDS
摘要
申请公布号 EP0349781(A3) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 EP19890110333 申请日期 1989.06.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KUECH, THOMAS FRANCIS;TISCHLER, MICHAEL ALBERT
分类号 H01L21/205;C30B25/02;(IPC1-7):C30B25/02;C30B29/40 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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