发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH033345(A) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 JP19890138131 申请日期 1989.05.31
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 TOSAKA HISAO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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