发明名称 PRODUCTION OF INTEGRATED-CIRCUIT DEVICES INCORPORATING A DIFFUSION STOP FOR OXYGEN
摘要
申请公布号 EP0237684(A3) 申请公布日期 1991.01.09
申请号 EP19860310234 申请日期 1986.12.31
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 YEN, YUNG-CHAU
分类号 H01L21/316;C01B33/00;C23C8/10;C23C8/12;C23C8/24;C23C8/34;C23C16/24;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/32;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/60;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/314;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利