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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR SPUTTERING BY ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH032371(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 JP19890135553 申请日期 1989.05.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARIMATSU KEIJI
分类号 C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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