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发明名称 Semiconductor memory and method of producing the same
摘要
申请公布号 US4984038(A) 申请公布日期 1991.01.08
申请号 US19880194980 申请日期 1988.05.17
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SUNAMI, HIDEO;OHKURA, MAKOTO;MIYAO, MASANOBU;KUSUKAWA, KIKUO;MONIWA, MASAHIRO;KIMURA, SHINICHIRO;WARABISAKO, TERUNORI;KURE, TOKUO
分类号 H01L21/762;H01L27/108 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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