| 发明名称 |
SUBSTRATE CLEANING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH031534(A) |
申请公布日期 |
1991.01.08 |
| 申请号 |
JP19890132819 |
申请日期 |
1989.05.29 |
| 申请人 |
SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
TOMITA HAJIME |
| 分类号 |
B08B7/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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