| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON MICROSENSOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH032523(A) |
申请公布日期 |
1991.01.08 |
| 申请号 |
JP19890136961 |
申请日期 |
1989.05.29 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
TABUCHI HIROKI;INAMI YASUHIKO;HASHIZUME NOBURO |
| 分类号 |
G01D21/00;C23F1/00;G01P15/08;H01L21/306;H01L29/84;H01L35/00 |
主分类号 |
G01D21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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