| 发明名称 |
TREATMENT OF MATERIAL TO BE TREATED AND TREATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH032372(A) |
申请公布日期 |
1991.01.08 |
| 申请号 |
JP19890135074 |
申请日期 |
1989.05.29 |
| 申请人 |
NIPPON PRECISION CIRCUITS KK |
发明人 |
MATAI KOUJI |
| 分类号 |
C23C14/56;C23C16/44;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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