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发明名称 COOLING SYSTEM IN HEAT TREATMENT FURNACE
摘要
申请公布号 JPH031066(A) 申请公布日期 1991.01.07
申请号 JP19890132435 申请日期 1989.05.25
申请人 DEISUKO HAITETSUKU:KK 发明人 OTSUKI KENJI
分类号 F25D9/00;G05D23/00;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/324;H01L23/467 主分类号 F25D9/00
代理机构 代理人
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