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发明名称 THIN FILM COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03151(A) 申请公布日期 1991.01.07
申请号 JP19890131084 申请日期 1989.05.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJIMURA JUNJI
分类号 B05C3/02;B05C11/10 主分类号 B05C3/02
代理机构 代理人
主权项
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