发明名称 METHOD FOR FORMING VARIABLE WIDTH ISOLATION STRUCTURES
摘要
申请公布号 CA2015891(A1) 申请公布日期 1990.12.31
申请号 CA19902015891 申请日期 1990.05.02
申请人 HONEYWELL INC. 发明人 LIU, MICHAEL S.;RAHN, CURTIS H.;ROISEN, ROGER L.;STRAIGHT, JOHN B.
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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