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发明名称
METHOD FOR FORMING VARIABLE WIDTH ISOLATION STRUCTURES
摘要
申请公布号
CA2015891(A1)
申请公布日期
1990.12.31
申请号
CA19902015891
申请日期
1990.05.02
申请人
HONEYWELL INC.
发明人
LIU, MICHAEL S.;RAHN, CURTIS H.;ROISEN, ROGER L.;STRAIGHT, JOHN B.
分类号
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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