| 发明名称 |
REACTEUR D'EPITAXIE A PAROI PROTEGEE CONTRE LES DEPOTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2628985(B1) |
申请公布日期 |
1990.12.28 |
| 申请号 |
FR19880003689 |
申请日期 |
1988.03.22 |
| 申请人 |
LABO ELECTRONIQUE PHYSIQUE APPLI |
发明人 |
PETER FRIJLINK |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):B01J19/20 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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