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发明名称 POSITIVE-TYPE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0349301(A3) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 EP19890306581 申请日期 1989.06.28
申请人 MITSUBISHI KASEI CORPORATION 发明人 NISHI, MINEO;SAKAGUCHI, MASAHIRO;MIYAZAKI, AKIO
分类号 G03F7/004;G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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