发明名称 METHOD FOR FORMING TEST PATTERN OF CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02311774(A) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 JP19890132617 申请日期 1989.05.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 IKEDA KOJI;HATAKEYAMA KAZUMI;HAYASHI TERUMINE
分类号 G01R31/3183;G01R31/28 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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