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发明名称
METHOD FOR FORMING TEST PATTERN OF CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH02311774(A)
申请公布日期
1990.12.27
申请号
JP19890132617
申请日期
1989.05.29
申请人
HITACHI LTD
发明人
IKEDA KOJI;HATAKEYAMA KAZUMI;HAYASHI TERUMINE
分类号
G01R31/3183;G01R31/28
主分类号
G01R31/3183
代理机构
代理人
主权项
地址
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