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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH02312241(A) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 JP19890134343 申请日期 1989.05.26
申请人 NIPPON STEEL CORP;NITTETSU DENSHI KK 发明人 SAITO HAJIME;HARADA HIROBUMI;SUZUKI KENICHI;HATANAKA HIROYUKI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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