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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A NEARLY MONO-ENERGETIC, HIGH FLUX BEAM OF HIGH VELOCITY ATOMIC GAS PARTICLES
摘要
申请公布号 EP0262012(B1) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 EP19870401935 申请日期 1987.08.26
申请人 PHYSICAL SCIENCES, INC. 发明人 CALEDONIA, GEORGE E.;KRECH, ROBERT H.;GREEN, BYRON D.;PIRRI, ANTHONY N.
分类号 H05H3/02;H05H1/22;H05H3/00 主分类号 H05H3/02
代理机构 代理人
主权项
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