Procedure for the investigation of physical properties of thin layers.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung der physikalischen Eigenschaften dünner Schichten. Dies geschieht mit Hilfe polarisierten Lichtes, mit dem die zu untersuchende Schicht bestrahlt wird und das reflektierte Licht bzw. transmittierte Licht auf ein Abbildungssystem gelenkt wird, wobei in der zu untersuchenden Schicht durch die Einstrahlung des polarisierten Lichtes Lichtleitermoden angeregt werden.