发明名称 EXCIMER LASER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02312288(A) 申请公布日期 1990.12.27
申请号 JP19890133437 申请日期 1989.05.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA YUKA;HORIUCHI NAOYA;ONO TAKUHIRO;MIYATA TAKEO
分类号 H01S3/08;H01S3/082;H01S3/106;H01S3/137 主分类号 H01S3/08
代理机构 代理人
主权项
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