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经营范围
发明名称
MICROWAVE MAGNETIC-FIELD ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02310920(A)
申请公布日期
1990.12.26
申请号
JP19890132996
申请日期
1989.05.26
申请人
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD
发明人
HIJIKATA ISAMU;UEHARA AKIRA
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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